Propriétés structurales de surfaces, interfaces et nanostructures, étudiées à l’aide des rayons X

Service de physique des matériaux et microstructures, CEA-INAC / UJF-Grenoble 1, 38054 Grenoble

Résumé

La diffusion/diffraction et l’absorption des rayons X issus d’une source synchrotron sont des techniques très puissantes d’étude de la structure, de la morphologie et de la composition de surfaces, d’interfaces et de nano-objets, en particulier in situ, durant leur élaboration, ou in operando.

Nous les illustrons par l’exemple de la croissance de germanium sur des surfaces (001) de silicium monocristallin, où apparaissent successivement une couche bidimensionnelle contrainte présentant un arrangement complexe des atomes de surface, puis différentes nanostructures facettées qui relaxent progressivement leur paramètre de maille via une interdiffusion avec le substrat.